Главная Иностранные языки Информатика Искусство и культура Исторические личности Матметоды в эк-ке Метрология Неопределено Режущий инструмент Реклама и PR Ресторанно-гостиничный бизнес бытовое обслуживан Государственное регулирование и налогообложение Гражданское право Гражданское процессуальное право САПР Стратегический менеджмент Схемотехника Уголовное право Уголовный процесс Управление персоналом Физика Эктеория Электротехника Этика эстетика Юридпсихология Карта сайта	Рефераты. Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании · Полученные результаты используются для построения графика распределения примеси Nтв вдоль слитка. При построении профиля, как правило, используют полулогарифмический масштаб, т.к. значения концентрации изменяются практически на три порядка. ·  Определить распределение удельного сопротивления вдоль слитка можно либо расчетным методом, либо по кривым Ирвина. Таблица 1 -  Распределение галлия и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
Участок  зонной  плавки			Участок   направленной кристаллизации
а	Nтв, см-3	r , Ом×см (по кривым Ирвина)	g (a=10)	Nтв, см-3	r , Ом×см (по кривым Ирвина)
Vкр=2,5×10-3 см/с
0	5,24 1016	0,42	0	4,92 1017	0,098
1	1,04 1017	0,28	0,2	6,13 1017	0,085
2	1,54 1017	0,21	0,4	8,15 1017	0,071
3	2,04 1017	0,18	0,6	1,22 1018	0,06
4	2,54 1017	0,15	0,8	2,41 1018	0,032
5	3,03 1017	0,14	0,9	4,77 1018	0,02
6	3,51 1017	0,13	0,99	4,63 1019	0,0028
7	3,98 1017	0,11	–	–	–
8	4,45 1017	0,1	–	–	–
9	4,92 1017	0,098	–	–	–
Vкр=8,33×10-3 см/с
0	1,6 1017	0,2	0	1,35 1018	0,05
1	3,2 1017	0,135	0,2	1,67 1018	0,048
2	4,68 1017	0,098	0,4	2,2 1018	0,036
3	6,11 1017	0,085	0,6	3,25 1018	0,028
4	7,48 1017	0,075	0,8	6,32 1018	0,017
6	1,0 1018	0,061	0,9	1,23 1019	0,009
7	1,13 1018	0,055	0,99	1,12 1020	0,0011
8	1,24 1018	0,051	–	–	–
9	1,35 1018	0,05	–	–	–
Vкр=2,5×10-2 см/с
0	2,2 1018	0,036	0	4,02 1018	0,0215
1	2,97 1018	0,029	0,2	4,45 1018	0,021
2	3,41 1018	0,025	0,4	5,07 1018	0,019
3	3,67 1018	0,023	0,6	6,1 1018	0,017
4	3,82 1018	0,0225	0,8	8,36 1018	0,0125
6	3,96 1018	0,0222	0,9	1,15 1019	0,01
7	3,98 1018	0,022	0,99	3,27 1019	0,0037
8	4,01 1018	0,0215	–	–	–
9	4,02 1018	0,0215	–	–	–

1.2.2 Расчет распределения Si-P.

Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.

Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97

N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.

Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.

Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.

Заполним расчетную таблицу.

Таблица 2 -  Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).

Участок  зонной

 плавки

 

Участок   направленной

кристаллизации

 

 

а

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

g

(a=10)

Nтв,

см-3

r , Ом×см

(по кривым Ирвина)

Vкр=2,5×10-3 см/с

0

4,25 1018

0,012

0

9 1018

0,0068

1

6,05 1018

0,009

0,2

1,01 1019

0,006

2

7,18 1018

0,0075

0,4

1,18 1019

0,0058

3

7,88 1018

0,0073

0,6

1,46 1019

0,0042

4

8,32 1018

0,0071

0,8

2,11 1019

0,0034

5

8,6 1018

0,007

0,9

3,05 1019

0,0024

6

8,76 1018

0,0069

0,99

1,03 1020

0,00085

7

8,87 1018

0,0069

–

–

–

9

9 1018

0,0068

–

–

–

Vкр=8,33×10-3 см/с

0

6,69 1018

0,0085

0

9,05 1018

0,0066

1

7,93 1018

0,0075

0,2

9,59 1018

0,0063

2

8,51 1018

0,0071

0,4

1,03 1019

0,006

3

8,8 1018

0,0069

0,6

1,15 1019

0,0057

4

8,93 1018

0,0068

0,8

1,38 1019

0,0052

5

9 1018

0,0068

0,9

1,65 1019

0,0045

7

9,03 1018

0,0066

0,99

3 1019

0,0024

8

9,04 1018

0,0066

–

–

–

9

9,05 1018

0,0066

–

–

–

Vкр=2,5×10-2 см/с

0

Страницы: 1, 2, 3, 4