Рефераты. Туннелирование в микроэлектронике






                                               .                                          (2.6.1)

Если полупроводник поместить в электрическое поле, то согласно зонной теории полупроводника, произойдёт наклон энергетических зон полупроводника. В этом случае электрон валентной зоны может туннелировать через треугольный барьер (рис. 2.6.1а).




                     Зона

                     проводимости

                                                                                                                           Зона

                                                                                                                           проводимости

              Eg                                                                                      hν



Валентная                                                         х                                                                                        х

зона                                                                                  Валентная

                                                                                          зона

                                                                                   


                                                                                                                      

                             d                                                                      d’    


                        а)                                                                                                   б)


Рис. 2.6.1  Туннелирование электрона

а) без изменения энергии;   б)  с поглощением фотона


Высота этого барьера равна ширине запрещённой зоны Eg, а его толщина d характеризуется выражением:

                                               ,                                           (2.6.1)

где - величина напряжённости электрического поля. Как видно, с увеличением величины электрического поля толщина барьера уменьшается, а, следовательно, исходя из формулы (1.12), где d=l, увеличивается вероятность туннелирования.

В присутствии электрического поля участие фотона с энергией hν, как видно из рис. 2.6.1б, эквивалентно уменьшению толщины барьера до величины:

                                                                                  (2.6.2)

и туннельный переход становится ещё более вероятным. Уменьшение толщины барьера равносильно уменьшению ширины запрещённой зоны в сильном электрическом поле. Эффект туннелирования в присутствии электрического поля, сопровождаемый поглощением фотона, называется эффектом Франца Келдыша. В собственном полупроводнике он проявляется как сдвиг края полосы собственного поглощения в сторону меньших энергий. На рис. 2.6.2 показано изменение края полосы поглощения для GaAs при разной напряжённости поля.





                                    lnα




                                       10 _


 


                                         8 _


                                        

                                         6 _



                                         4 _


 

                                         2   

                                           1,47            1,48            1,49            1,50             1,51             hν, эВ                         


Рис. 2.6.2  Край поглощения GaAs при разной напряжённости электрического поля;

Сплошная линия - =0, штрихпунктирная - =30 кВ.





































3.     ТУННЕЛЬНЫЙ  ДИОД


Предложенный в 1958 г. японским учёным Л. Ёсаки туннельный диод изго-
товляется из германия или арсенида галлия с высокой концентрацией примесей
(1019 — 1020 см-3 ), т. е. с очень малым удельным сопротивлением, в сотни или
тысячи раз меньшим, чем в обычных диодах. Такие полупро­водники с малым
сопротивлением называют вырожденными. Электронно-дырочный пере­ход в вырожденном полупроводнике получается в десятки раз тоньше (10-6 см), чем в обыч­ных диодах, а потенциальный барьер примерно в два раза выше. В обычных
полупроводниковых диодах высота потенциального барьера равна примерно поло-
вине ширины запрещённой зоны, а в туннельных диодах она несколько больше
этой ширины. Вследствие малой толщины перехода на­пряженность поля в нём даже
при отсутствии внешнего напряжения достигает 106 В/см.

Процессы в туннельном диоде удобно рассматривать на энергетических
диаграммах, показывающих уровни энергии валентной зоны и зоны проводимости-
 в n- и р-областях. Вследствие возникновения контактной разности потенциалов в n-р-переходе границы всех зон в одной из областей сдвинуты относительно соответствующих зон другой области на высоту потен­циального барьера,
выраженную в электрон-вольтах.

На рис.3.1-3.4 с помощью энергетических диаграмм изображено возникновение туннельных токов в электронно-дырочном переходе туннельного диода. Для
того чтобы не усложнять рассмотрение тун­нельного эффекта, диффузионный ток
и ток проводимости на этом рисунке не показаны. Диа­грамма рис. 3.1 соответствует отсутствию внешнего напряжения. Высота потенциального барьера взята
для примера 0,8 эВ, а ширина запрещенной зоны составляет 0,6 эВ.



                                                               U=0 B

                                               n                                   p


                                                ЗП

                              0,8 эВ

                                                                   

                                                                    iпр 

                                                                 iобр

 


                              0,6 эВ      ЗЗ

                                                                                          ВЗ 





Рис. 3.1  Диаграмма туннельного диода при отсутствии внешнего напряжения.

 

Горизонтальными ли­ниями в зоне проводимости и в валентной зоне показаны энергетические уровни, полностью или частично занятые электронами. В валентной зоне
и зоне проводимости изображены также незаштри­хованные горизонтальными
линиями участки, которые соответствуют уровням энергии, не занятым электронами. Как видно, в зоне проводимости полупроводника n-типа и в валентной
зоне полупроводника р-типа имеются занятые электронами уровни, соответствующие одинаковым энергиям. Поэтому может происходить туннельный переход
электронов из области n в область р (прямой туннельный ток iпр) и из области р
в область n (обратный туннельный ток iобр). Эти два тока одинаковы по значению, и результирующий ток равен нулю.

На рис. 3.2 показана диаграмма при прямом напряжении 0,1 В, за счёт
которого высота потенциального барьера понизилась на 0,1 эВ и составляет
0,7 эВ. В этом случае туннельный переход электронов из области n в область р
усиливается, так как в области р имеются в валентной зоне свободные уровни,
соответствующие таким же энергиям, как энергии уровней, занятых электро­нами
в зоне проводимости области n. А переход электронов из валентной зоны области
р в область n невозможен, так как уровни, занятые электронами в валентной
зоне области р, соответст­вуют в области n энергетическим уровням запрещённой-
 зоны. Обратный туннельный ток отсутствует, и результирующий туннельный
ток достигает максимума. В промежуточных случаях, например когда Uпр=0,05 В,
существуют и прямой и обратный туннельный токи, но обратный ток меньше
прямого. Результирующим будет прямой ток, но он меньше максимального,
получающе­гося при Uпр= 0,1 В.



                                                             Uпр=0,1 B

                                               n                                   p


                                                ЗП

                              0,7 эВ

                                                                    iпр

                                                                     

                                                                

                                                                                        ВЗ

                              0,6 эВ      ЗЗ

                                                                                   

 


Рис. 3.2  Энергетическая диаграмма туннельного диода при Uпр=0,1 В


Случай, показанный на рис. 3.3 соответствует Uпр= 0,2 В, когда высота
потенциального барьера стала 0,6 эВ. При этом напряжении туннельный переход
невозможен, так как уровням, занятым элек­тронами в данной области, соответствуют в другой области энергетические уровни, находя­щиеся в запрещённой зоне.
Туннельный ток равен нулю. Он отсутствует также и при большем пря­мом
напряжении. Следует помнить, что при возрастании
прямого напряжения увеличивается пря­мой
диффузионный ток диода. При рассмотрен-
ных значениях Uпр=0,2 В диффузионный ток
го­раздо меньше туннельного тока, а при
Uпр>0,2 В диффузионный ток возрастает и
достигает значе­ний, характерных для прямо
го тока обычного диода.


                                                             Uпр=0,2 B

                                               n                                   p


                                                ЗП

                              0,6 эВ

                                                                   

                                                                     

                                                                

                              0,6 эВ       ЗЗ                                     ВЗ

                             

                                                                                   

Рис. 3.3  Энергетическая диаграмма туннельного диода при Uпр=0,2 В


На рис. 3.4 рассмотрен случай, когда обратное напряжение Uобр=0,2 В.
Высота потенциального барьера стала 1 эВ, и значительно увеличилось число
уровней, занятых электронами в валентной зоне р-области и соответствуют их
свободным уровням в зоне проводимости n-области. Поэтому резко возрастает
обратный туннельный ток, который получается такого же порядка, как и ток
при прямом напряжении.

Вольт-амперная характеристика туннельного диода (рис. 3.5) поясняет рас-
смотренные диа­граммы. Как видно, при U=0 ток равен нулю. Увеличение
прямого напряжения до 0,1 В дает возрас­тание прямого туннельного тока до
максимума (точка А). Дальнейшее увеличение прямого на­пряжения до 0,2 В
сопровождается уменьшением туннельного тока. Поэтому в точке Б получа­ется
минимум тока и характеристика имеет падающий участок АБ, для которого
характерно отрица­тельное сопротивление переменному току:

                                  (3.1)



                                                               Uобр=0,2 B

                                               n                                   p


                                               

                                                ЗП

                                 1 эВ                           

                                                                     

                                                                 iобр

 


                             

                                                                                          ВЗ 

                              0,6 эВ        ЗЗ

 




Рис. 3.4  Энергетическая диаграмма туннельного диода при Uобр=0,2 В.


                        iпр, мА


                                   4 _                А

 


                                   3 _


                                   2 _


                                   1 _

                                                                            Б

 Uобр               

                -0,1                                 0,1              0,2              0,3               0,4         Uпр 


                                         iпр, мА



Рис. 3.5  Вольт-амперная характеристика туннельного диода.


После этого участка ток снова возрастает за счет прямого диффузионного
тока. Обратный
ток получается такой же, как прямой, т. е. вo много раз больше, нежели
у обычных диодов.

Туннельны диоды могут примкнятся в технике СВЧ, а также во многих импульсных радиоэлектронных устройствах, рассчитанных на высокое быстродействие. Помимо весьма малой инерционности достоинством туннельных диодов является их стойкость к ионизирующему излучению. Малое потребление энерги от источника питания также во многих случаях следует считать достоинством туннельных диодов. К сожелению, эксплутация этих диодов выявила существенный их недостаток. Он заключается в том, что эти иоды подвержены значительному старению, то есть с течением времени их характеристики и параметры заметно изменяются, что может привести к нарушению нормальной работы того или иного устройства.

Все туннельные диоды имеют весьма малые размеры. Например, они могут быть оформлены в целиндрических герметичных малостеклянных корпусах диаметром 3 – 4 мм и высотой около 2 мм. Выводы у них гибкие ленточные. Масса не превышает 0,15 г.









ЛИТЕРАТУРА

1.           И.В. Боднарь, Л.Г. Березуцкий  «Методическое пособие к лабораторным работам по курсу ФХОМКиТ  РЭС и ЭВС». Мн.; БГУИР, 1997 г.

2.           И.В. Боднарь, Л.Г. Березуцкий  «Методическое пособие для самостоятельной работы студентов по курсу ФХОМКиТ  РЭС и ЭВС. Раздел «Контактные явления»». Мн.; БГУИР,  1998 г.

3.           Г.И. Епифанов, Ю.А. Мома  «Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА».  М.; «Советское радио», 1979 г.

4.           И.П. Жеребцов  «Основы электроники». Ленинград, «Энергоатомиздат», 1985 г.

5.           В.В. Новиков  «Теоретические основы микроэлектроники». М.; «Высшая школа», 1972 г.

6.           К.В. Шалимова  «Физика полупроводников». М.; «Энергия», 1976 г.

7.           Под редакцией Г.Г. Шишкина  «Электронные приборы». М.; «Энергоатомиздат», 1989 г.

8.           А.А. Штернов  «Физические основы конструирования, технологии РЭА и микроэлектроники». М.; «Радио и связь», 1981 г.



Страницы: 1, 2, 3



2012 © Все права защищены
При использовании материалов активная ссылка на источник обязательна.